在A廠案例中,若採全部抽氣風量將超過2,000CMM,大風量造成風車及冷氣費用高,故可考慮將吸脫附後處理過的潔淨空氣回送回製程區,減少冷氣費用。以B廠為例,B廠作業區VOC濃度約為550ppm,過去未安裝空污防制設備,僅以風扇自然換氣,為增進員工及環境健康並節省空污費,遂設置處理設備去除VOCs。
B廠製程區以負壓圍封密閉避免VOCs溢散,並以風量500CMM抽出再經沸石轉輪濃縮10倍濃縮後以RTO處理,RTO處理效率為95%,排放濃度約50ppm,整體集氣與處理流程如圖1-2所示。
本系統整體可發揮良好成效,惟業者表示系統完成後冷氣在半年內已損壞2次,且污染防制設備裝設後,冷氣電費飆升超過與台電的用電契約,故亟需尋求節能管道。